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電子級氫氟酸

2017/2/24 10:51:04

電子級氫氟酸是氟化氫的水溶液,為無色透明液體, 在25℃時密度1.15gml(50% HF)。對金屬、玻璃、混凝土等具有強烈腐蝕性。電子級氫氟酸作為集成電路(IC)製造的關鍵性基礎化工材料之一,主要用於芯片的清洗和腐蝕,用時可與過氧化氫、氨水、硝酸、醋酸等配製使用。它的純度和潔淨度對集成電路的成品率、電性能及可靠性都有著十分重要的影響。有強烈腐蝕性,其蒸氣具有刺激性,接觸皮膚可引起嚴重燒傷且不易治愈,應先用大量水衝洗後就醫。使用時應戴好防護用具,防止吸入呼吸道。電子級氫氟酸具有品種多、用量大、技術要求高、貯存有效期短和強腐蝕性等特點。

電子級氫氟酸主要用於集成電路製造行業、液晶麵板製造行業以及太陽能電池製造行業。目前國內外製備高純氫氟酸的常用提純技術有精餾、蒸餾、亞沸蒸餾、氣體吸收等技術,其基本都以工業氫氟酸和無水氫氟酸為原料,但均經過粗餾、精餾、吸收、冷凝、膜過濾、灌裝等工段。國際高純試劑等級應符合SEMI國際標準等級。

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截止目前,國內電子級氫氟酸未製定國家標準,各生產廠家根據電子化學分類製定各自企業標準來檢驗生產的電子級氫氟酸是否滿足集成電路所需。基本按照不同用途、不同純度可分為UP-S級或MOS試劑、UP級和EL級,具體為:

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製備電子級氫氟酸所應用的測試儀器有:電感耦合等離子高頻質譜分析儀( ICP - MS);電感耦合等離子原子發射分析儀( ICP - AES);原子吸收分光光度計;氧原子發生無焰原子吸收分析儀;離子色譜分析儀;激光散射液體微粒計數器;水表麵雜質分析係統;原子間力顯微鏡;光學顯微鏡微粒計數器;掃描電子顯微鏡;光學膜厚測定和表麵仿形儀;表麵張力測定儀;空氣中塵埃微粒測定儀;水電阻率測定儀等。